Микромехатроника
Book information
Description
Тамбов: ТГТУ, 2014. — 219 с.В учебном пособии широко охвачены различные аспекты микромехатроники и микросистемной техники. В книге детально рассмотрены такие вопросы, как история и перспективы развития микросистемной техники, структура и технологии изготовления микроэлектромеханических систем, а также различные сферы их применения. Книга предназначена для освоения дисциплины «Микромехатроника» студентами магистратуры, обучающимися по направлению 15.03.06 «Мехатроника и робототехника», а также может быть полезна аспирантам, инженерно-техническим и научным работникам соответствующих и близких специальностей.
Similar books
Механотроніка
LMS Imagine.Lab AMESim как эффективное средство моделирования динамических процессов в мехатронных системах
Моделирование мехатронных систем
Анализ и синтез мехатронных систем управления энергетических установок
Введение в мехатронику
Навигация летательных аппаратов в околоземном пространстве
Мехатроніка, телематика, синергетика у транспортних додатках
Мехатронные опоры роторов агрегатов и машин новых поколений
DOC