RUSSIAN

Технология полупроводникового кремния

By Э.С.Фалькевич , Э.О.Пульнер , И.Ф.Червоный , Л.Я.Шварцман , В.Н.Яркин , И.В.Салли.

Book information

Publisher
Металлургия
Year
1992
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
6 MB (6216949 bytes)
Pages
203\203
Library
mexmat
Time added
2014-10-05 02:30:00

Description

Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов> влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве.Для инженерно-технических работников и специалистов полупроводниковой промышленности. Может быть полезна студентам вузов, обучающимся по соответствующим специальностям.

Similar books

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU

Оборонная промышленность. Специальное обозрение. Рэнкинг предприятий Российского оборонно-промышленного комплекса в 2001 г. Пухов Р. Корпорации в российском ВПК уже есть. Бендукиндзе К. «Государство должно быть вменяемым заказчиком». Макиенко К. Зачем государству оборонка. Вопрос «Фокуса»: Должны ли предприятия оборонного комплекса участвовать в финансировании гособоронзаказа?. Пядушкин Н. Экспорт - наше главное оружие. Макиенко К. Международное сотрудничество в сфере ВПК сильнее национальных интересов. («Русский фокус», 22 июля - 19 августа 2002. Специальное обозрение «Оборонная промышленность»)

DJVU