Sentaurus Structure Editor

Description

Return to Front Page......Page 0 Sentaurus™ Structure Editor User Guide......Page 2 Contents......Page 4 Audience......Page 28 Accessing SolvNet......Page 29 Acknowledgments......Page 30 Introduction to Sentaurus Structure Editor......Page 32 ACIS Geometry Kernel......Page 34 Command-Line Options......Page 36 Batch Mode......Page 37 Scheme Script Syntax-Checking......Page 38 Loading a Boundary and Mesh Command File at Startup......Page 39 Opening Models......Page 40 Importing Files......Page 41 Recording Actions to a File......Page 42 Introduction to Graphical User Interface......Page 44 Menu Bar......Page 45 Toolbars......Page 46 View Window......Page 49 Command-Line Window......Page 51 Shortcut Keys......Page 52 Configuring Command-Line Window......Page 53 Size of Main Window......Page 55 Selecting Entities......Page 56 Printing......Page 57 Defining Parameters From the Graphical User Interface......Page 58 Parameterizing Dialog Boxes......Page 59 Zooming, Panning, and Orbiting With Mouse Operations......Page 60 Interactive Cutting Plane Viewer......Page 61 Perspective and Orthographic Views in Three Dimensions......Page 62 Selecting the Rendering Mode......Page 63 View Orientation......Page 65 Displaying Ruler......Page 66 Visualizing Selected Geometric Objects......Page 67 Quick Access to Placements, Refinements, and Doping Profiles......Page 68 Visualizing the Internal Entity Representation......Page 69 Modeling Unit and Modeling Range......Page 72 Exact Coordinates......Page 73 Active Material......Page 74 Overlap Behavior......Page 75 Regular Polygons......Page 77 Circles......Page 78 Ruled Regions......Page 79 Adding a Vertex......Page 81 Moving a Vertex......Page 82 Moving Region Edges......Page 83 Deleting Vertices......Page 84 Rounding......Page 85 Chamfering......Page 86 Cutting......Page 87 Splitting Structures......Page 88 Aligning Vertices......Page 89 Merging Collinear Edges......Page 92 Breaking Nearly Axis-Aligned Edges......Page 96 Two-dimensional Boundary Smoothing......Page 98 Edge Length Queries......Page 99 Cuboids......Page 100 Cylinders......Page 101 Ellipsoids......Page 102 Import Capability of User-Defined Data......Page 103 Creating a Layered Lens Structure......Page 104 Creating a Solid Body From Faces......Page 105 Chamfering Edges......Page 106 Rounding Edges......Page 107 Tapering......Page 108 Wires......Page 114 Extruding......Page 115 Sweeping a 2D Object......Page 117 Sweep Distance......Page 118 Sweep Along a Vector......Page 120 Sweep Around an Axis (Regular and Corner Sweeps)......Page 122 Sweep Along a Wire......Page 125 Sweep Options......Page 127 Sweeping Examples......Page 129 Default Skinning......Page 132 Skinning With Normals......Page 134 Skinning With Guides......Page 135 Skinning Example......Page 136 Explicit Boolean Operations......Page 137 Changing the Material of a Region......Page 139 Deleting Regions......Page 140 Separating Lumps......Page 141 Two-dimensional Cuts From a 3D Structure......Page 142 Split–Insert Stretching of a Device......Page 143 Extending a 2D Device......Page 145 Trimming a 3D Structure......Page 146 Coordinate Systems and Transformations......Page 147 Work Planes......Page 148 Local Coordinate Systems......Page 150 Device Scaling......Page 151 Entity Transformations: Scaling, Translation, Rotation, and Reflection......Page 152 Local Scaling of Entities......Page 153 Difference Between sdegeo:scale and sdegeo:scale-selected......Page 154 Translation......Page 155 Rotation......Page 157 Reflection......Page 158 Scheme Extensions for Transformations......Page 160 Overview......Page 162 Unified Coordinate System......Page 163 Mask Layout Input and Mask Generation......Page 164 Offsetting (Biasing) Mask......Page 166 TCAD Layout Reader of Sentaurus Structure Editor......Page 167 Finding Layer Names and Layer IDs......Page 168 Finding Coordinates of Bounding Box......Page 169 Creating and Using Masks......Page 170 Coordinate System Support......Page 171 Layout-Driven Contact Assignment......Page 172 Layout-Driven Meshing......Page 173 Process Emulation Commands......Page 175 Syntax and Keywords......Page 176 The lopx Algorithm......Page 183 The PT Algorithm......Page 184 Restrictions on Handling Mixed Models......Page 185 Defining Domain......Page 186 Anisotropic Patterning......Page 187 Photo Keywords and Keyword Combinations......Page 188 Example......Page 189 Deposition Keywords and Keyword Combinations......Page 190 Anisotropic Deposition......Page 193 Isotropic Deposition......Page 194 Selective Deposition......Page 195 Directional Deposition......Page 197 Shadowing......Page 199 Rounding and Advanced Rounding......Page 200 Example: Etching Operation Using Different Etch Options......Page 201 Example: Multimaterial Etching......Page 202 Some Notes About Multimaterial Etching......Page 203 Fill......Page 205 Interconnect Layer Generation......Page 206 Example: Generating an Interconnect Structure......Page 207 Removing Material......Page 208 Doping and Implantation......Page 209 Process Emulation Example......Page 210 Overview......Page 214 Defining and Activating a Contact......Page 215 Assigning Edges or Faces to a Contact......Page 216 Assigning a Region Boundary to a Contact......Page 218 Removing Edges or Faces From a Contact......Page 219 Creating New Edges or Faces for Use in Contacts......Page 220 Contact Assignment Examples......Page 222 Protecting Contacts......Page 226 Overview......Page 228 Rectangular and Polygonal Ref/Eval Windows......Page 229 Extracting Ref/Eval Window From Face......Page 231 Extracting Ref/Eval Window From 3D Solid Body......Page 232 Extracting Ref/Eval Windows From 3D Solid Body Interfaces......Page 233 Regular Refinement Boxes......Page 235 Multibox Refinements......Page 239 Sentaurus Mesh AxisAligned Section......Page 242 Delaunizer Section......Page 244 Offsetting Refinements......Page 245 Tensor Mesh Refinements......Page 247 Tools Section......Page 248 Constant Doping Profiles......Page 249 Analytic Doping Profiles......Page 251 External 2D and 3D Doping Profiles......Page 255 Particle Doping Profiles......Page 262 Global Tessellation Settings......Page 264 Tessellating Spherical Faces......Page 268 Facewise Tessellation Settings......Page 269 Automatically Assigning Local Refinements to Optimize Quality of Tessellated Boundary Output......Page 270 Boundary Tessellation in Three Dimensions......Page 271 Alternative Faceter......Page 272 IOControls Section......Page 274 Building the Mesh......Page 275 Using the sdeepi:create-layerstack Scheme Extension......Page 278 Command File......Page 279 Global Section......Page 280 Size and Position of Structure......Page 282 Layers Section......Page 284 Material Column......Page 286 Doping Column......Page 287 MoleFraction Column......Page 290 Refinement Column......Page 292 Extension Columns......Page 294 Processing the Layer Stack......Page 295 References......Page 296 Scheme Data Types......Page 298 Basic Scheme Programming for Users of Sentaurus Structure Editor......Page 299 Defining Simple Variables and Data Types......Page 300 String Operations......Page 301 Lists......Page 302 Arithmetic Expressions......Page 304 If Blocks......Page 305 For Each Loops......Page 307 Procedures......Page 308 Error Signaling to Sentaurus Workbench......Page 309 Entity IDs and Attributes......Page 310 Topological Entity Types......Page 311 Script-Based Object Selection......Page 313 Automatic Region-Naming......Page 316 List of Supported Materials......Page 317 Vertex–Vertex Distance......Page 318 Finding Edges, Faces, and Other Elements of a Body......Page 319 Bounding Box Query......Page 321 Scheme Functions for Entity Queries......Page 322 Background Image Loader......Page 324 User-Defined Dialog Boxes......Page 325 Step 1: Define a Scheme Function That the Dialog Box Will Execute......Page 326 Step 3: Launch the Dialog Box......Page 327 Dialog Boxes for Obtaining Values......Page 328 Message Boxes......Page 329 Presentation of Commands......Page 330 afm-smooth-layers......Page 331 bbox......Page 333 bbox-exact......Page 334 body?......Page 335 build-csv-lens......Page 336 color:rgb......Page 337 complete-edge-list......Page 338 convert-to-radian......Page 339 edge?......Page 340 edge:circular......Page 341 edge:elliptical?......Page 342 edge:length......Page 343 edge:linear......Page 344 edge:linear?......Page 345 edge:start......Page 346 edge:type......Page 347 entity:box......Page 348 entity:copy......Page 349 entity:debug......Page 350 entity:deep-copy......Page 351 entity:delete......Page 352 entity:dist......Page 353 entity:edges......Page 354 entity:faces......Page 355 entity:loops......Page 356 entity:lumps......Page 357 entity:set-color......Page 358 entity:shells......Page 360 entity:vertices......Page 361 env:set-tolerance......Page 362 erf......Page 363 exists-empty-mask-name......Page 364 exists-mask-name......Page 365 extract-interface-normal-offset-refwindow......Page 366 extract-interface-offset-refwindow......Page 367 extract-refpolyhedron......Page 368 extract-refwindow......Page 369 face:area......Page 370 face:cylindrical?......Page 371 face:plane-normal......Page 372 face:spline?......Page 373 face:toroidal?......Page 374 filter:type......Page 375 find-body-id-drs......Page 376 find-edge-id......Page 377 find-edge-id-drs......Page 378 find-face-id......Page 379 find-face-id-drs......Page 380 find-material-id......Page 381 find-region......Page 382 find-region-id......Page 383 find-vertex-id-drs......Page 384 get-drs-list......Page 385 get-mask-list......Page 386 gvector......Page 387 gvector?......Page 388 gvector:+......Page 389 gvector:-......Page 390 gvector:cross......Page 391 gvector:from-to......Page 392 gvector:parallel?......Page 393 gvector:reverse......Page 394 gvector:scale......Page 395 gvector:set!......Page 396 gvector:set-x!......Page 397 gvector:set-y!......Page 398 gvector:set-z!......Page 399 gvector:unitize......Page 400 gvector:y......Page 401 journal:abort......Page 402 journal:append......Page 403 journal:clean......Page 404 journal:load......Page 405 journal:off......Page 406 journal:on......Page 407 journal:resume......Page 408 journal:save......Page 409 journal:step......Page 410 loop:external?......Page 411 lump?......Page 412 mask-refevalwin-extract-2d......Page 413 mask-refevalwin-extract-3d......Page 414 merge-collinear-edges-2d......Page 415 part:entities......Page 416 part:load......Page 417 part:save......Page 418 part:save-selection......Page 419 part:set-name......Page 420 position......Page 421 position:+......Page 422 position:distance......Page 423 position:set!......Page 424 position:set-x!......Page 425 position:set-y!......Page 426 position:set-z!......Page 427 position:y......Page 428 position:z......Page 429 protect-all-contacts......Page 430 random-sd......Page 431 refinement:props......Page 432 refinement:set-prop......Page 433 remove-body-ABA......Page 435 remove-body-BAB......Page 436 render:rebuild......Page 437 roll......Page 438 sde:add-material......Page 439 sde:attach-refinement......Page 440 sde:back-coord......Page 441 sde:bool-regularise......Page 442 sde:bottom-coord......Page 443 sde:build-mesh......Page 444 sde:check-3d-license-status......Page 445 sde:check-model......Page 446 sde:clear......Page 447 sde:create-bg-image......Page 448 sde:create-dialog......Page 449 sde:define-global-facet-options......Page 450 sde:define-parameter......Page 451 sde:define-refinement......Page 452 sde:delay-graphics-update?......Page 453 sde:delete-materials......Page 454 sde:delete-parameter......Page 455 sde:delete-refinement......Page 456 sde:dialog-add-input......Page 457 sde:dialog-add-pixmap......Page 458 sde:dialog-delete......Page 459 sde:dialog-ok-command......Page 460 sde:dialog-show......Page 461 sde:disable-facet-options-usage......Page 462 sde:display......Page 463 sde:display-err......Page 464 sde:display-std......Page 465 sde:dump-non-default-options......Page 466 sde:exact-coords?......Page 467 sde:extract-tdr-boundary......Page 468 sde:fix-orientation......Page 469 sde:front-coord......Page 470 sde:ft_scalar......Page 471 sde:get-default-material......Page 472 sde:get-view-params......Page 473 sde:gui-get-integer......Page 474 sde:gui-get-real......Page 475 sde:gui-get-string......Page 476 sde:hide......Page 477 sde:hide-contact......Page 478 sde:hide-interface......Page 479 sde:hide-mask......Page 480 sde:hide-material......Page 481 sde:hide-refinement......Page 482 sde:hide-region......Page 483 sde:info......Page 484 sde:left-coord......Page 485 sde:load-sat......Page 486 sde:max-x......Page 487 sde:max-z......Page 488 sde:merge-materials......Page 489 sde:min-y......Page 490 sde:min-z......Page 491 sde:modify-facet-options......Page 492 sde:new-region-name......Page 493 sde:offset-mask......Page 494 sde:on-lights......Page 495 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