RUSSIAN

Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники

By А.А.Сазонов

Book information

Publisher
Высшая Школа
Year
1991
Language
russian
Format
PDF
Filesize
16 MB (17029300 bytes)
Pages
336\336
Library
mirknig.com
Time added
2011-12-05 17:23:38
Автоматизация;Технические средства автоматизации (

Description

В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделировании и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.

Similar books