Физические основы микро - и нанотехнологий

Description

Учебное пособие. - СПб: СПбГПУ, 2010. - 201 с. - ISBN 978-5-7422-1845-6В данном пособии рассмотрены физико-химические особенности формирования микро- и наноразмерных структур, основные технологические методы и перспективы их развития. Большое внимание уделено физическим и технологическим ограничениям на предельные параметры микро- и наноструктур, их электронным и оптические свойства. Исследования в области наноэлектроники, развивающейся на основе микро- и нанотехнологий, важны для разработки новых принципов, а вместе с ними и нового поколения сверхминиатюрных супербыстродействующих систем обработки информации. Реализация технологических процессов рассмотрена на примере МОП-структур интегральных схем с малыми размерами элементов и углеродных наноструктур.Предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям и специальностям в области техники и технологии при изучении дисциплин «Физические основы микро- и нанотехнологий» и может быть также использовано аспирантами, инженерами и научными работниками, специализирующимися в области микро- и наноэлектроники, материаловедения.Основные тенденции развития микро- и нанотехнологий в полупроводниковой электронике.Эволюция полупроводниковой электроники.Физические и схемотехнические ограничения на уменьшение размеров активных элементов и рост степени интеграции.Одноэлектронные устройства.Физические основы основных процессов планарной микротехнологии.Подготовка пластин и геттерирование примесей.Диффузия.Ионное легирование.Эпитаксия.Фотолитография.Сухое травление.Технология пассивных элементов ИС.Системы металлизации ИС.Интегральные резисторы и конденсаторы.Поверхностное сопротивление.Расчет параметров интегрального резистора.Тонкопленочные резисторы.Тонкопленочные конденсаторы.Реализация СБИС на основе МДП-структур.Структура МДП транзистора.Технология производства интегральных схем на МОП-транзисторах.Конструктивные и технологические особенности КМДП ИС.Масштабирование МОП-транзисторов.МОП-транзисторы с малыми размерами элементов.LDD – МОП транзистор.Эффект короткого канала.МОП-транзисторы, изготовленные по технологии "кремний на изоляторе.МОП-структуры с двойным и с окольцовывающим затвором.Углеродные наноструктуры в электронике.Основные представления о нанотрубках.Электронная структура, энергетический спектр и проводимость нанотрубок.Методы получения и разделения нанотрубок.Применение углеродных наноструктур в молекулярной электронике.Наноэлектромеханические устройства на основе УНТ.Графеновая электроника.