Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления
Book information
Description
Работа посвящена модификации поверхностного нанослоя металлов, их сплавов, полупроводников, диэлектриков, тонкопленочных покрытий с помощью высокочастотных разрядов индукционного и емкостного типов при пониженном давлении. Описывается физическая и математическая модели модификации поверхности материалов в высокочастотной плазме пониженного давления, а также результаты теоретического исследования закономерностей формирования основных параметров процесса модификации.
Similar books
Новые технологии и материалы легкой промышленности
Всероссийская
Всероссийская
Вестник Казанского технологического университета: Т. 14. № 14. 2011
Всероссийская
Международная научная конференция «Плазменные технологии исследования, модификации и получения материалов различной физической природы» и Международная школа молодых ученых и специалистов «Плазменные технологии в исследовании и получении новых материалов», 16-18 октября 2012 года
Вестник Казанского технологического университета: Т. 14. № 12. 2011
