Методы и приборы для анализа электронных компонентов в микро - и наномасштабе

Description

Учебное пособие. — СПбГПУ, 2011. — 190 с.Предлагаемое учебное пособие ставит целью ознакомить студентов с основами наиболее востребованных методов электронной и ионной спектроскопии, широко применяющимися для анализа материалов, структур и компонентов электронной техники в микро и наномасштабе В пособии описываются методы электронной и ионной спектроскопии для анализа поверхности, особенности их реализации для исследования полупроводниковых материалов и компонентов электронной техники, и особенности подготовки образцов для анализа. В пособии также приводятся некоторые сведения об устройстве спектрометров и их компонентов.Содержание Список принятых сокращений Введение Классификация методов анализа Методы электронной спектроскопии Основные сведения об эмиссии электронов из твердого тела Электронная микроскопия поверхности Устройство электронного микроскопа и его основные возможности Принципы формирования контраста в электронной микроскопии Подготовка образцов для электронной микроскопии Рентгеноспектральный микроанализ Катодолюминесценция Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия Физические основы метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии Обработка спектров рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии Анализ поверхности методом Оже-спектроскопии Физические основы метода Оже-спектроскопии Ультрафиолетовая электронная спектроскопия Анализ поверхности методами ионной спектроскопии Основные сведения о взаимодействии ионов с поверхностью твердого тела Ионно-нейтрализационная спектроскопия Спектроскопия рассеяния медленных ионов Рассеяние быстрых ионов Распыление поверхности и послойный анализ Вторично-ионная масс-спектроскопия Основные закономерности вторично-ионной масс-спектроскопии Ионное изображение Количественный анализ во вторично-ионной масс-спектроскопии бинные профили концентрации элементов Применения метода вторично-ионной масс-спектроскопии Библиографический список