Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел: Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел: Курс лекций

Description

В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов. Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 5401, 0709, и 0710. обл(432).doc Курс лекций text(432).doc СОДЕРЖАНИЕ Глава 1. ОСНОВНЫЕ ПРОЦЕССЫ, ПРОИСХОДЯЩИЕ ПРИ БОМБАРДИРОВКЕ ВЕЩЕСТВА ИОНАМИ, И ВОЗМОЖНОСТИ ИХ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ Глава 2. ДВИЖЕНИЕ УСКОРЕННЫХ ИОНОВ В ВЕЩЕСТВЕ. ТОРМОЖЕНИЕ И РАССЕЯНИЕ ИОНОВ Глава 3. ПРОБЕГИ ИОНОВ В ТВЕРДОМ ТЕЛЕ И ИХ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ Глава 4. ОБРАЗОВАНИЕ РАДИАЦИОННЫХ ДЕФЕКТОВ ПРИ ОБЛУЧЕНИИ ИОНАМИ 4.1. Типы дефектов. Генерация дефектов 4.2. Вторичные процессы при образовании дефектов Глава 5. ОБРАТНОЕ РАССЕЯНИЕ ИОНОВ 5.1. Физические основы метода 5.2. Применение метода обратного рассеяния ионов Глава 6. КАНАЛИРОВАНИЕ ИОНОВ 6.1. Общие сведения 6.2. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью кристаллов 6.3. Каналирование ионов в кристалле 6.3.1. Модель постоянного потенциала 6.3.2. Эффект блокировки 6.3.3. Применение метода каналирования для определенияместоположения примеси в кристалле 6.3.4. Деканалирование 6.3.5. Введение дефектов анализирующим пучком Глава 7. РАСПЫЛЕНИЕ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ 7.1. Классификация различных типов распыления 7.1.1. Предварительные сведения 7.1.2. Распыление за счет прямого выбивания 7.1.3. Распыление за счет электронного возбуждения 7.2. Сведения из теории атомных столкновений 7.3. Распыление за счет линейных каскадов столкновений 7.4. Десорбция под действием ионной бомбардировки 7.5. Имплантация и перемешивание под действием ионной бомбардировки 7.6. Распыление многокомпонентных мишеней ЛИТЕРАТУРА