Lecture Notes on Principles of Plasma Processing
Book information
Description
Отличные лекции по физике плазмы с хорошими иллюстрациями. Один из авторов Ф.Ф. Чен хорошо известен среди специалистов по физ. плазмы. Некотрые книги были переведены на русский язык. Данные лекции написаны простым языком, студенты более-менее знающие англ. язык смогут читать без проблем. ------------------------------------------------------------- Why study plasma processing? Because we can't get along without computer chips and mobile phones these days. About half the steps in making a semicon- ductor circuit require a plasma, and plasma machines ac- count for most of the equipment cost in a "fab ". Design- ers, engineers, and technicians need to know how a plasma behaves.
Similar books
Metallic films for triggering vacuum-arc plasma sources
Стационарные электрические разряды с испаряющимся в вакууме электродом
Зондовый метод диагностики плазмы
DJVU
Холловский торцевой ускоритель плазмы с холодным катодом
Экспериментальное исследование процессов вакуумно-дугового испарения и ионизации вещества (гадолиния), моделирующего уран, для разработки технологии плазменной сепарации отработавшего ядерного топлива
Введение в плазменные технологии и водородную энергетику
Физико-химические процессы в низкотемпературной плазме (основы плазмохимии)
