RUSSIAN

№2209 Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами

By Юрчук , С. Ю.

Book information

Publisher
МИСИС
Year
2013
Language
russian
Format
PDF
Filesize
28 MB (29292447 bytes)
Pages
\45
Time added
2020-10-15 00:47:16

Similar books