Наноэлектроника

Description

Рассмотрены основные направления развития современной электроники, использующей физические эффекты, имеющие место в наноструктурах. Проанализированы пути перехода от микро- к наноэлектронным приборам, приведены описания нанотехнологических процессов, элементов и приборов наноэлектроники и новых материалов, с которыми тесно связано развитие приоритетной области нанонауки и нанотехнологии. В книге четыре главы, которые обзорно отражают основные пути и тенденции развития наноэлектроники. В главе 1 описывается современное состояние микроэлектроники. Во второй главе рассмотрены некоторые развивающиеся нанотехнологии в наноэлектронике. Третья глава посвящена новым материалам, используемым в наноэлектронике. В четвертой главе внимание уделено перспективным приборам различных направлений развития наноэлектроники. Для студентов по направлениям подготовки «Прикладные математика и физика», «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнологии и микросистемная техника», а также для аспирантов и научных работников, специализирующихся в области наноэлектроники и нанотехнологий.