RUSSIAN

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы

By Сергиенко А.А. , Кузнецов Г.Д. , Кушхов А.Р. , Харламов Н.А.

Book information

Publisher
Издательство "МИСИС"
Year
2012
ISBN
978-5-87623-556-5
Language
russian
Format
PDF
Filesize
21 MB (22117221 bytes)
Pages
128\128
Time added
2017-04-20 00:00:00
Инженерно-технические науки;Электроника и радиотех

Description

В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы».;Гриф:Рекомендовано редакционно-издательским советом университета

Similar books