Машиностроение. Том III-8. Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении
Book information
Description
Ред. совет: К. В. Фролов (пред.) и др.; Ю.В. Панфилов, Л.К. Ковалев, В.А. Блохин и др.; Под общ. ред. Ю.В. Панфилова. — Москва: Машиностроение, 2000. — 744 с. — (OCR).Показаны уникальные возможности воздействия на конструкционные материалы высокоэнергетических электронных и ионных пучков, низкотемпературной газоразрядной плазмы и точно дозированных молекулярных потоков. Обобщен отечественный и мировой опыт создания оборудования для производства изделий электронной техники и изложены принципы построения систем автоматического управления. Описаны методы и средства получения и поддержания сверхчистых технологических сред, атмосферы чистых производственных помещений. Систематизированы уникальные технологические , процессы изготовления интегральных микросхем и печатных плат, электровакуумных и других приборов. Даны основные понятия, этапы и отражены тенденции развития мехатронных систем.
Similar books
Моющие средства, их использование в машиностроении и регенерация
Shuco стальные системы Jansen
Rema Tip Top. Промышленная программа 2012/2013
Машиностроение. Том IV-13. Машины и агрегаты текстильной и легкой промышленности
Машиностроение. Том IV-12. Машины и аппараты химических и нефтехимических производств
Машиностроение. Том IV-1. Детали машин. Конструкционная прочность. Трение, износ, смазка
Машиностроение. Том III-1. Технологическая подготовка производства. Проектирование и обеспечение деятельности предприятия