RUSSIAN

Технология тонких пленок. Справочник

By Майссел Леон , Под редакцией Л.Майссела , Р.Глэнга. Перевод с английского Под редакцией М.И.Елинсона , Г.Г.Смолко.

Book information

Publisher
Советское радио. Редакция литературы по электронной технике
Year
1977
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
16 MB (16645872 bytes)
Volume
Том 2
Pages
768\768
Library
infanata
Time added
2009-07-20 03:45:11
каталогитаблицыФизика;Физика плазмы;Справочники

Description

Справочник по технологии тонких пленок' наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1?7, в т. 2' гл. 8?21. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.

Similar books