RUSSIAN

Конспект лекций по дисциплине Лучевые и плазменные методы формирования наноструктур интегральной электроники

By Светличный А.М. , Наумченко А.С.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
1 MB (1401080 bytes)
Pages
\84
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехноло

Description

Московский государственный институт электронной техники (технический университет), 2011, 84 с.Содержание: Применение фотонных потоков излучения в технологии микро- и наноэлектроники Рекристаллизация аморфных и поликристаллических кремниевых слоѐв лазерным излучением Технологические процессы с использованием плазмы при изготовлении изделий микро- и наноэлектроники Плазменные технологические процессы очистки и травления микро- и наноструктур Взаимодействие электронов с твѐрдым телом Тепловое воздействие электронов на твѐрдое тело Ионно-лучевая обработка в технологии микро- и наноэлектроники Ионное легирование полупроводников

Similar books