Технологія одержання і застосування плівкових матеріалів

Description

Навчальний посібник. - Суми: Вид-во СумДУ, 2008- 198 с.У навчальному посібнику розглянуті технологічні основи одержання металевих, алмазоподібних і споріднених з ними плівок, їх особливості та фізичні властивості. У даному навчальному посібнику, призначеному студентам й аспірантам фізико-технічних спеціальностей університетів, розглядаються питання, пов’язані з технологією одержання та застосуванням різних плівкових матеріалів. Цей науково-технічний напрям бурхливо розвивається, що стало можливим після освоєння методів одержання з попередньо заданими фізичними властивостями. Він дав поштовх широкому застосуванню плівкових матеріалів у оптиці, космічній та атомній промисловості, у техніці надвисоких частот, як захисних покриттів, елементів мікроелектронних схем, датчиків неелектричних величин, у кріогенній та обчислювальній техніці. У першій частині посібника розглядаються два основні питання: методи одержання металевих вакуумних конденсатів та алмазних, алмазоподібних плівок і споріднених із ними матеріалів. У другій частині проаналізовані питання взаємного зв’язку між умовами одержання плівок та їх особливостями (механізми конденсації та росту, дефектність кристалічної структури, стабілізація аморфного чи нанокристалічного стану та проблеми старіння вакуумних конденсатів). Третя частина посібника присвячена проблемі застосування плівкових матеріалів як чутливих елементів датчиків неелектричних величин (температура, тиск, вологість, деформація та ін.) Навчальний посібник призначений для студентів та аспірантів вищих навчальних закладів освіти.