Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
Book information
Description
Статья. Опубликована в ВАНТ, 2007, №06, с.106-115Приведен краткий аналитический обзор методов подавления эмиссии микро- и наночастиц, часто называемых макрочастицами или каплями, в вакуумно-дуговых источниках эрозионной плазмы без применения фильтрующих систем. Рассмотрены 12 вариантов стационарных и импульсных плазменных источников, включая классические – с применением магнитных полей различной конфигурации, с введением в разрядное пространство реакционных газов, а также нетрадиционные – с использованием дуги в режиме горячего анода, с шунтирующим дуговым разрядом.
Similar books
Metallic films for triggering vacuum-arc plasma sources
Стационарные электрические разряды с испаряющимся в вакууме электродом
Зондовый метод диагностики плазмы
DJVU