Кристаллизация тугоплавких металлов из газовой фазы

Description

М.: Атомиздат, 1974. — 264 с.: ил.Рассмотрены методы получения чистых металлов и сплавов, а также покрытий из тугоплавких металлов путем осаждения из газовой фазы с участием химической реакции (водородное восстановление и термическое разложение легколетучих металлсодержащих соединений). Изложены теоретические основы процессов, значительное внимание уделено их аппаратурному оформлению. Описываются свойства получаемых металлов, которые - находят широкое применение в современной технике. Рассматриваются возможности регулирования параметров процесса с целью получения материалов с заданным комплексом уникальных химических, механических и других свойств. Уделено внимание перспективам развития методов осаждения из газовой фазы и расширения применений этих методов.Предисловие.Введение.Некоторые вопросы теории химической кристаллизацииТермическое разложение карбониловВлияние электростатического поля.Содержание углерода в покрытиях.Проблема газа-носителя Инертные газы-носители.Химически активные газы-носители.Получение металлических покрытий водородным восстановлением хлоридов металлов Получение сплавовТехника экспериментаРеакционная камераИспарительСистема очистки газовОчистка газов от кислорода.Очистка газов от окиси и двуокиси.Очистка газов от водяных паров.Дистилляция.Система конденсирующих устройствНагрев образцов Измерительный комплексКинетика осажденияТермическое разложение карбонилов тугоплавких металловРазложение карбон&м молибдена.Разложение карбонила вольфрама.Разложение карбонила рения.Водородное восстановления хлоридов (Mo, W, Та, Nb)Термическая диссоциация хлоридов.Осаждение W, Mo, Nb, Ті, Zr, Hf.Осаждение рения.Осаждение иридия.Водородное восстановление фторидов тугоплавких металловОсаждение вольфрама.Осаждение рения.Осаждение иридия.Получение тугоплавких металлов из металлорганических соединенийИридий.Вольфрам.Молибден.Методы понижения температуры процесса кристаллизации из газовой фазы.Высокочастотное поле Электронный удар.Тлеющий разряд.Влияние поверхности подложки на скорость осаждения металлаНекоторые свойства тугоплавких металлов и покрытий из нихПримеси в металлах, полученных кристаллизацией из газовой фазыМеханические свойства металловВлияние поверхностной пленки на механические свойства металловПрочность сцепления покрытий с основойТипы сцепления.Методы измерения прочности сцепления.Термические напряжения.Способы повышения прочности сцепления.Проблема плотностиПлотность металлов.Рост кристаллов.Микроструктура.Текстуры в тугоплавких металлах и сплавахПолучение текстурированных слоев металлов.Текстуры в сплавах тугоплавких металлов.Механизмы образования текстур.Высокотемпературная стабильность текстур тугоплавких металлов.Высокотемпературная стабильность микроструктуры.Эмиссионные характеристики осажденных металловПолучение сплавовПолучение сплавов при разложении карбонилов и при водородном восстановлении хлоридов металлов.Получение вольфрам-рениевых сплавов при водородном восстановлении WF6 и ReF6.Получение тантал-алюминиевых сплавов.Кристаллизация тройных вольфрам-молибден-рениевых сплавов. Список литературы