CHINESE

纳米压印技术

By 孙洪文

Book information

Publisher
电子工业出版社
Year
2011
ISBN
9787121121999
Language
chinese
Format
PDF
Filesize
37 MB (38284844 bytes)
Pages
190\201
Time added
2024-06-02 01:29:29

Description

《纳米压印技术》详细介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法，它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构，而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。《纳米压印技术》不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考，也可供化学、生物、医学、光电子和磁学等领域的科研人员借鉴。同时，《纳米压印技术》深入浅出，通俗易懂，也具有一定的科普价值。

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