RUSSIAN

Металлизация в системах с наноразмерными элементами

By Громов Д.Г.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
7 MB (7454708 bytes)
Pages
\204
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехноло

Description

Учебное пособие. — М.: МИЭТ, 2011. — 204 с.Рассмотрены с физико-химических позиций развитие систем металлизации кремниевых интегральных схем, выбор материалов функциональных слоев металлизации и процессы формирования элементов металлизации. Приведены закономерности взаимодействия в различных силицидообразующих системах металл - кремний и особенности формирования силицидных контактных слоев; принципы выбора материалов диффузионно-барьерных слоев; различные физико-химические методы заполнения узких траншей и контактных колодцев проводящим материалом для создания межсоединений посредством технологии «Damascene». Разработано для основной образовательной программы подготовки магистров по направлению 210100 Электроника и наноэлектроника, соответствующей тематическому направлению деятельности ННС Наноэлектроника. Для студентов, изучающих дисциплину Металлизация в системах с наноразмерными элементами, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных микросхем.

Similar books