MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme

Book information

Publisher

Vieweg+Teubner Verlag

Year

2005

ISBN

978-3-519-00520-9, 978-3-663-10778-1

DOI

10.1007/978-3-663-10778-1

Language

german

Format

PDF

Filesize

22 MB (22794419 bytes)

Pages

204\204

Time added

2015-04-23 16:00:00