RUSSIAN

Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения

By Райзер Ю.П. , Шнейдер М.Н. , Яценко Н.А.

Book information

Publisher
Наука. Физматлит, Изд-во МФТИ
Year
1995
ISBN
5-7417-0006-3
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
7 MB (7137918 bytes)
Pages
305\306
Topic
Physics
Library
rffi
Orientation
yes
Paginated
no
Scanned
yes
Time added
2014-10-05 02:30:00

Description

Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разряды низкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей вузов, а также для научных работников и инженеров.

Similar books