ENGLISH

Physical vapor deposition of thin films

By Mahan J.E.,

Book information

Language
english
Format
PDF
Filesize
5 MB (5430675 bytes)
Pages
\323
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Физика;Физика плазмы

Description

Wiley, New York, 2000, 312 c.В книге сначала представлено введение о принципах и разрядных системах, используемых для плазменного осаждения пленок. Затем приведена кинетическая теория газов. Рассмотрены механизмы адсорбции и конденсации на поверхности. Дается краткий обзор о вакуумных системах, способах создания и контроля вакуума. Описаны источники, основанные на испарении, распылительные системы (RF, DC, магнетронные), а также механизмы, участвующие в процессе распыления. Завершает книгу глава об осаждении пленок.

Similar books