RUSSIAN

Импульсный отжиг полупроводниковых материалов

By Двуреченский А.В. , Качурин Г.А. , Нидаев Е.В. , Смирнов Л.С.

Book information

Language
russian
Format
DJVU
Filesize
7 MB (6916220 bytes)
Pages
\209
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Материаловедение в приборостроении

Description

Москва, Наука 1982, Табл 24, Ил 127, Библиогр 427 назв.В монографии систематизированы данные по импульсному отжигу полупроводниковых материалов, в основном по отжигу имплантированных ионами слоев наносекундными, миллисекундными импульсами и сканирующими лучами. Основное внимание уделено отжигу радиационных дефектов и кристаллизации разупорядоченных слоев, активации и перераспределению примеси. Приводятся типовые расчеты тепловых полей, их релаксации и описание техники импульсных отжигов. Обсуждаются дискуссионные вопросы о влиянии атермических факторов, выделены нерешенные проблемы, приведены примеры практического использования импульсных обработок. Монография является введением в новую быстро развивающуюся область — ионно-импульсную модификацию материалов. Она рассчитана на специалистов — физиков и инженеров, занимающихся проблемами твердотельной электроники.

Similar books