RUSSIAN

Ближнепольная сверхвысокочастотная микроскопия

By Резник А.Н.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
632 kB (646883 bytes)
Pages
\5
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехноло

Description

Институт физики микроструктур РАН, ГСП-105, Н.Новгород, 5 с.Ближнепольная (БП) микроскопия – это способ диагностики, разрешающая способностькоторого не зависит от рабочей длины волны устройства λ, а определяется размером апертурызонда D. Уже к концу 1990-х были созданы БП микроскопы (БПМ) микронного и субмикронногоразрешения. В самое последнее время появились первые образцы БПМ, имеющие D~30 нм. Дляприборов диапазона СВЧ соотношение D/λ составляет 10-5 - 10-6, т.е. устройства обладают «глубоким» субволновым разрешением. Важно, что БП микроскопия это бесконтактная неразрушающая диагностика. Наибольшие перспективы применения БПМ связывают с твердотельной микро- и нано-электроникой, хотя, соответствующие методы интересны также для материаловедения, дефектоскопии, медицины, фундаментальных исследований и др.

Similar books