RUSSIAN

Электронная спектроскопия и атомные процессы на поверхности кремния

By Лифшиц В.Г.

Book information

Language
russian
Format
DJVU
Filesize
8 MB (8321050 bytes)
Pages
\201
Topic
Physics
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Физика;Практикумыэкспериментальная физика и физические методы иссле

Description

М.: Наука, 1985. - 200 с. В монографии описаны результаты исследований физических процессов на поверхности чистого кремния, полученные в основном методами вторичной электронной эмиссии. Рассмотрены методы оже-электронной спектроскопии, дифракции медленных электронов, спектроскопии характеристических потерь энергии электронами, фотоэлектронной спектроскопии. Излагаются сведения о геометрической и электронной структуре поверхности чистого кремния. Приводятся результаты работ по процессам окисления и нитридизации кремния. Рассматриваются процессы формирования границ металл-кремний, диффузии металлов на поверхности кремния. Монография рассчитана на научных работников, инженеров, технологов, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физики поверхности полупроводников.

Similar books