RUSSIAN

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

By Яфаров Р.К.

Book information

Publisher
Издательство "Физматлит"
Year
2009
ISBN
978-5-9221-1150-8
Language
russian
Format
PDF
Filesize
3 MB (2657974 bytes)
Pages
216\216
Time added
2017-04-20 00:00:00
Физика;Прикладная физика

Description

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

Similar books