RUSSIAN

Технологии материалов для микро - и наноэлектроники

By Семенов А.Л. , Петров А.Л. , Зубрицкий С.М. , Скоробогатова Л.А.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
774 kB (792887 bytes)
Pages
\84
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехноло

Description

Иркутск, ИГУ, 2009. – 83 с.В учебном пособии последовательно описана технология производства интегральных схем. Приведены процессы обработки, нанесения, удаления и модификации вещества. Описаны особенности проведения операций, сборки и монтажа кристаллов, присоединения элек- тродных выводов и герметизации. Предназначено для студентов 4–5-х курсов специальности «Твердотельная электроника и микроэлектроника», «Радиофизика и радиоэлектроника», а также магистрантов и аспирантов.

Similar books