RUSSIAN

Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие

By В. А. , Дерябин

Book information

Publisher
Издательство Уральского университета
Year
2014
Language
russian
Format
PDF
Filesize
993 kB (1016836 bytes)
Pages
0\54
Time added
2016-06-12 18:52:00
УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ;ФОТОЛИТОГРАФИЯ;ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ

Description

Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.

Similar books