RUSSIAN

Определение энергетических диаграмм структур Si-HfO2 и Si-ZrO2 на основе метода полевых циклов в электролите

By Дмитриев В.А. , Барабан А.П. , Милоглядова Л.В. , Сергиенко М.В.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
219 kB (224599 bytes)
Pages
\6
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Физика;Электродинамика / Электричество и магнетизм

Description

Статья. Опубликована в электронном журнале "Исследовано в России" № 95. - СПб.: НИИФ им. Фока В.А. СПГУ, 2004 г. - 6 с.Аннотация: Цель данной работы заключалась в демонстрации возможности оценки указанных характеристик структур кремний-диэлектрик с помощью метода полевых циклов в системе электролит-диэлектрик-полупроводник (ЭДП). Суть метода заключалась в получении зависимости потенциала плоских зон структуры (определялся на основе измерения высокочастотных вольт-фарадных характеристик) от средней напряженности электрического поля, создаваемого в окисном слое в процессе предварительной поляризации структуры в электролите («+» на кремнии).

Similar books