RUSSIAN

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро - и наноэлектроники. Часть 2-я

By Удовиченко С.Ю.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (1686283 bytes)
Pages
\72
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Физика;Физика плазмы

Description

Учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 – Физика, магистерская программа «Физика наноструктур и наносистем».Тюмень:Издательство Тюменского государственного университета, 2014. 72 с.Учебно-методическое пособие включает контрольные вопросы к зачету и экзамену по дисциплине «Пучково-плазменные технологии»; список основной и дополнительной учебно-методической литературы. Для самостоятельной работы студентам предлагаются описания оборудования и технологий микро- и наноэлектроники, которые могут быть использованы и во время аудиторных занятий, и в качестве домашних заданий. Материал рассчитан на овладение высокими технологиями в области микро- и наноэлектроники. Рекомендовано к печати Учебно-методической комиссией Института физики и химии. Утверждено Учебно-методической секцией Ученого совета Тюменского государственного университета.

Similar books