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Scanning Electron Microscopy: Physics of Image Formation and Microanalysis

By Professor Dr. Ludwig Reimer (auth.)

Book information

Publisher
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Year
1998
ISBN
978-3-642-08372-3, 978-3-540-38967-5
DOI
10.1007/978-3-540-38967-5
Language
english
Format
PDF
Filesize
19 MB (20352827 bytes)
Series
Springer Series in Optical Sciences 45
Edition
2
Pages
529\538
Time added
2014-01-18 08:00:00
generalSolid State Physics; Spectroscopy and Microscopy;

Description

Scanning Electron Microscopy provides a description of the physics of electron-probe formation and of electron-specimen interations. The different imaging and analytical modes using secondary and backscattered electrons, electron-beam-induced currents, X-ray and Auger electrons, electron channelling effects, and cathodoluminescence are discussed to evaluate specific contrasts and to obtain quantitative information.

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