RUSSIAN

Физические основы кремниевой наноэлектроники

By Зебрев Г.И.

Book information

Publisher
Издательство "Лаборатория знаний" (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
Year
2015
ISBN
9785996326303
Language
russian
Format
PDF
Filesize
5 MB (4845186 bytes)
Series
Нанотехнология
Edition
3
Pages
243\243
Time added
2017-04-20 00:00:00
Нанотехнологии

Description

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов: Физические основы наноэлектроники, Наноэлектронные технологии, Физика микроэлектронных структур.

Similar books