Оксидные пленки на поверхности металла: современное состояние исследований и проблемы практического использованияы

Description

Статья. Опубликована в Материалы VI Международной научно-технической конференции,21 – 23 октября 2008 г. М. МИРЭА с.170-176Одно из важнейших требований, предъявляемых к катодам газоразрядныхлазеров – способность сохранять рабочие параметры при контакте эмитируюших по-верхностей с заряженными и ускоренными частицами, а также с газовой средой. Этообеспечивают защитные свойства тонкой оксидной или нитридной пленки. Особенношироко используются в этом плане тонкие пленки некоторых оксидов металлов, для ко-торых характерно сочетание высоких температуры плавления, теплопроводности и диэлектрических параметров. В то же время необходимо отметить, что подобные пленкине только выполняют конструктивную «защитную» функцию, но и являются активнымиэлементами электронных структур. На их основе были созданы высокоэффективныехолодные катоды, однако природа механизмов, обеспечивающих эмиссию электронов,и возможности управления ими оставались недостаточно выясненными. В большинстве исследований не учитывалась роль способов получения структур металл-оксид металла в формировании эмиссионных свойств. Отсутствуют также сведения о физических свойствах тонкопленочных структур, обеспечивающих практическое использование в новых приборах.