RUSSIAN

Исследование рельефа поверхности полупроводниковой hemt-структуры методом атомно-силовой микроскопии: Практикум

By Волкова Е. В. , Оболенский С. В. , Забавичев И. Ю.

Book information

Publisher
ЭБС Лань
Year
2014
Language
russian
Format
PDF
Filesize
790 kB (808796 bytes)
Pages
\17
Time added
2022-10-18 21:01:17

Description

В пособии описаны физические принципы работы атомно-силового сканирующего зондового микроскопа. Изложена методика анализа топографии поверхности полупроводниковой структуры с использованием контактного способа измерений. Практикум предназначен для студентов дневного отделения магистратуры радиофизического факультета ННГУ в качестве пособия при подготовке и проведении лабораторных работ по специализированному курсу «Сканирующая зондовая микроскопия».

Similar books