RUSSIAN

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. «Базовые технологические процессы микросистемной техники». Гриф УМО.

By Потловский К.Г.

Book information

Publisher
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
Year
2013
ISBN
978-5-7038-3729-0
Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (1618299 bytes)
Pages
64\68
Time added
2017-04-20 00:00:00
Инженерно-технические науки;Машиностроение

Description

Рассмотрены основные технологические процессы про- изводства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диф- фузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника»

Similar books