RUSSIAN

Вакуумно-плазменные процессы и технологии

By Рыбкин В.В.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
5 MB (5184236 bytes)
Pages
260\260
Time added
2021-02-24 03:03:30

Description

Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.

Similar books

Методология научных исследований и прикладной аналитики: Учебник. Изд. 5-е, дополн. и перераб. В 2 т. Т.2: Научные исследования: Мастерство и искусство научного мышления и научной работы / Methodology of Scientific Research and Practical Analytics: A Textbook: Fifth Edition. In two volumes. Vol.2: Scientific research: Art of scientific thinking and scientific work / Méthodologie de la recherche scientifique et de l’analytique appliquée: Manuel: Cinquième édition. En 2 tomes. T.2: Recherches scientifiques: Art de la pensée scientifique et du travail scientifique

Методология научных исследований и прикладной аналитики: Учебник. Изд. 5-е, дополн. и перераб. В 2 т. Т.2: Научные исследования: Мастерство и искусство научного мышления и научной работы / Methodology of Scientific Research and Practical Analytics: A Textbook: Fifth Edition. In two volumes. Vol.2: Scientific research: Art of scientific thinking and scientific work / Méthodologie de la recherche scientifique et de l’analytique appliquée: Manuel: Cinquième édition. En 2 tomes. T.2: Recherches scientifiques: Art de la pensée scientifique et du travail scientifique

2025 · PDF