RUSSIAN

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. Часть 1

By Королев М.А. , Крупкина Т.Ю. , Ревелева М.А.;Под общей ред. чл.-корр. РАН проф. Чаплыгина Ю.А.

Book information

Publisher
Издательство "Лаборатория знаний" (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
Year
2015
ISBN
9785996329045
Language
russian
Format
PDF
Filesize
4 MB (3698049 bytes)
Series
Электроника
Edition
3
Pages
400\400
Time added
2017-04-20 00:00:00
Инженерно-технические науки;Электроника и радиотех

Description

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микро-электроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.;Гриф:Рекомендовано Учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 (200100) «Микроэлектроника и твердотельная электроника»

Similar books