CHINESE

微惯性仪表

By 董景新

Book information

Publisher
清华大学出版社
Year
2003
ISBN
9787302062967
Language
chinese
Format
PDF
Filesize
8 MB (8604793 bytes)
Pages
320\316
Topic
Physics Mechanics
Time added
2023-06-26 15:28:36

Description

微机械加速度计是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制作的MEMS器件，在军民两用领域均有广泛的应用前景。本书以作者参加“九五”、“十五”重点预研课题及清华大学“985”校级重点项目工作为基础写成。全书共分9章，主要内容包括：微机械加速度计的类型、工作原理及数学模型，电容式微机械加速度计的结构和电路，微机械加速度计的集成、误差分析、主要性能指标及测试方法，微机械加速度计的应用及进一步研究动向等。

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