RUSSIAN

Изучение свойств оксидных пленок, полученных с помощью дуального магнетрона

By Бумагина А.И.

Book information

Language
russian
Format
DOC
Filesize
1 MB (1297408 bytes)
Pages
\0
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Физика;Физика плазмы

Description

Статья опубликована на VI Международной конференции студентов и молодых ученых: "Перспективы развития фундаментальных наук". — Томск: ТПУ, 2009 — т. 1. - С. 37-39Содержание статьи: Введение Способы получения оксидных пленок Конструкция дуальной магнетронной распылительной системы Методика эксперимента Сравнение скоростей напыления Исследование оптических характеристик Заключение. Список литературы.

Similar books