RUSSIAN

Стационарная вакуумная дуга в технологических системах для обработки поверхности

By Хороших В.М.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
447 kB (457424 bytes)
Pages
\8
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Физика;Физика плазмы

Description

Статья. Опубликована в ФІП ФИП РSE. 2003 т.1 с.19-24. Библ. - 73наим.В работе выполнен обзор по применению плазмы стационарного вакуумно-дугового разряда с интегрально холодным катодом для получения покрытий различного назначения. Исследовано изменение параметров плазмы при взаимодействии ее с газовой мишенью в объеме вакуумной камеры.

Similar books