RUSSIAN

Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах

By Гриценко В.А.

Book information

Language
russian
Format
DJVU
Filesize
13 MB (13368530 bytes)
Pages
\281
Topic
Physics
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Физика;Практикумыэкспериментальная физика и физические методы иссле

Description

Новосибирск: ВО «Наука». Сибирская издательская фирма, 1993.- 280 с. ISBN 5—02—030198—1.В книге представлены результаты фундаментальных исследований по строению, электронной структуре, оптическим свойствам (включая фотоэмиссию), природе глубоких центров в наиболее важных диэлектриках кремниевых интегральных схем — аморфных нитридах и окислах кремния (SiO2, Si3N4, SiOx. SiNxOy, SiNx:H). Отличительной особенностью настоящего издапия является обсуждение физических свойств во взаимосвязи с атомным составом и технологией.Монография представляет интерес для физиков (теоретиков и экспериментаторов), работающих в области физики неупорядоченных конденсированных систем, для разработчиков полупроводниковых приборов и микросхем.

Similar books