RUSSIAN

№2022 Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций: учеб. пособие

By Кузнецов , Г. Д.; Сергиенко , А. А.; Симакин , С. Б.; др.,

Book information

Publisher
МИСИС
Year
2012
Language
russian
Format
PDF
Filesize
122 MB (127438403 bytes)
Pages
\122
Time added
2020-10-15 20:55:22

Similar books