RUSSIAN

Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов

By Шевчук С.Л.

Book information

Year
2002
Language
russian
Format
PDF
Filesize
8 MB (8688135 bytes)
Edition
Кандидатская диссертация
Pages
161\161
Library
homelab OpenStorage
Time added
2009-07-20 03:45:11
Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехноло

Description

Настоящая диссертация посвящена проблеме развития метода реактивного ионно-лучевого синтеза (РИЛС) тонких пленок непосредственно из широких низкоэнергетичных пучков ионов высокой интенсивности, формируемых ионным источником (ИИ) с замкнутым дрейфом электронов.

Similar books