RUSSIAN

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления

By Бизюков А.А. и др.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
370 kB (379293 bytes)
Pages
\6
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Физика;Физика плазмы

Description

Статья. Опубликована в журнале ВАНТ 2006. №5. Сер.: Плазменная электроника и новые методы ускорения (5), с.136-141.Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения покрытий зависит от типа разряда в МРС, и эта зависимость в импульсных режимах более сильная, чем в постоянных. В осажденном покрытии не обнаружено наличие капель материала катода. Это обусловлено тем, что они испаряются под действием потоков заряженных частиц плотной плазмы. Предложена теоретическая модель, показывающая возможность испарения или уменьшения размеров определенной части капель в плазменном потоке вакуумной дуги. Показано, что эффективность испарения капельной фазы растет с увеличением плотности плазмы.

Similar books