Технологии нанообработки

Description

Учебное пособие для ВУЗов. – 2-е изд. — Старый Оскол: оригинал, 2015. — 243 с.Изложены основные методы наноизмерений, способы получения нанопорошков, поверхностных и объемных наноструктур. Представлены различные устройства нанопозиционирования и наноперемещения. Описываются методы и средства размерной нанообработки, обработки сканирующими зондами, нанолитографии. Изложены основные подходы к созданию молекулярных наномашин и других супрамолекулярных структур. Текст, формулы, рисунки, таблицы – корректны.ОглавлениеПредисловиеВведениеНаноизмеренияКлассификация методов наноизмеренийИсследования наноструктурЭлектронная микроскопия.Сканирующая зондовая микроскопия.Дифракционный анализ.Спектральные методы.Прецизионная эллипсометрия.Фракционный анализ нанопорошков.Наноиндентирование.Измерения наноперемещенийНанометрологияСовременное состояние нанометрологии.Меры длины в наноразмерном диапазоне.Меры наноперемещений.Фуллерены, наночастицы и нанотрубкиФуллереныФуллерены — новая аллотропная форма углерода.Получение фуллеренов.Применение фуллеренов.Наночастицы и нанотрубкиНанопорошкиТерминология и основные области примененияМетоды получения нанопорошковКлассификация методов получения нанопорошков.Физико-химические методы получения нанопорошков.Физические методы получения нанопорошков.Объемные наноматериалыМетоды получения объемных наноматериаловКомпактирование нанопорошков.Методы интенсивной пластической деформации.Контролируемая кристаллизация аморфных сплавов.Стереолитография наноструктурных материалов.Свойства и области применения объемных наноматериаловНанопокрытияМетоды нанесения тонких покрытийЭлектролитическое осаждение покрытий.Химическое осаждение покрытий.Физическое осаждение покрытий.Газотермическое напыление.Методы нанесения нанопокрытийОсновные технологические подходы.Ионно-плазменное осаждение.Молекулярно-лучевая эпитаксия.Импульсное лазерно-плазменное напыление.Свойства нанопокрытийНанотехнологии поверхностной модификацииПоверхностное наноструктурированиеИзменение химического состава поверхностного слояМетод термической диффузии.Метод ионной имплантации.НанополированиеУстройства наноперемещенийТребования к устройствам наноперемещенийОсновные типы приводов наноперемещенийУстройства наноперемещенийНаноактюаторы.Нанопозиционеры.Наноманипуляторы.Размерная нанообработкаКлассификация методов размерной нанообработкиРазмерная нанообработка объемных изделийЛезвийная нанообработка.Наношлифование.Электроэрозионная нанообработка.Лазерная нанообработка.Нанообработка сканирующими зондамиНанолитографияКвантово-размерные полупроводниковые структурыОсновные понятияПростейшие полупроводниковые наноструктурыКвантовые ямы.Квантовые нити.Квантовые точки.Применение квантовых полупроводниковых структурРезонансный туннельный диод.Лазерные устройства на квантовых ямах.Фотоприемники на квантовых ямах.Наномашины и супрамолекулярные структурыНаномашиныОсновные понятия.Атомные и молекулярные машины.Супрамолекулярные структурыОбъекты супрамолекулярной химии.Применение супрамолекулярных структур.Простейшие супрамолекулярные структуры.Молекулярные машины.Список литературы