RUSSIAN

Технология тонкопленочных микросхем

By Данилина Т.И.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (2349134 bytes)
Pages
\152
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Электроника

Description

Учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2006. - 154с. Учебное пособие представляет собой конспект лекций по дисциплине "Технология тонкопленочных микросхем" для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и имеет методические указания по самостоятельной работе студентов. Учебное пособие содержит разделы по получению рисунка ИМС, по технологическим основам пленочной микроэлектроники, элементам тонкопленочных ИМС, в том числе ГИС СВЧ, а также по технологиям и свойствам оптических покрытий. Учебное пособие снабжено приложениями, необходимыми для выполнения контрольных работ и индивидуальных заданий.

Similar books