RUSSIAN

Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления

By Кузьмичев А.И.

Book information

Publisher
Аверс
Year
2008
Language
russian
Format
PDF
Filesize
11 MB (11933221 bytes)
Pages
\246
Time added
2016-06-07 08:03:05
Физика;Физика плазмы

Description

Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы.Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.

Similar books