Компоненты микросистемной техники
Book information
Description
1. ОСОБЕННОСТИ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ КОНСОЛЬНОГО И МЕМБРАННОГО ТИПА 2. ТЕМПЕРАТУРНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ И ДЕФОРМАЦИИ В ОДНОСЛОЙНЫХ ПЛАСТИНАХ 3. ТЕМПЕРАТУРНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ И ДЕФОРМАЦИИ В МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУРАХ 4. НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ НЕСУЩИХ ЭЛЕМЕНТОВ МЭМС-УСТРОЙСТВ ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 3 ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 4