RUSSIAN

Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

By Белов И.А. , Шеленшкевич В.А. , Шуб Л.И.

Book information

Year
1991
Language
russian
Format
DJVU
Filesize
4 MB (4517323 bytes)
Pages
282\282
Topic
Physics
Library
mexmat
Time added
2009-07-20 03:45:11
Физика;Матметоды и моделирование в физике

Description

В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массооб-мена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье-Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема.

Similar books